工业洁净室的设备安全性对于生产过程的稳定性和产品质量的保证至关重要。以下是保证工业洁净室设备安全性的几个方面：

设备的选型和安装：在选择设备时，应根据洁净室等级和生产要求，选择符合标准的设备。在安装时，应按照设备说明书和洁净室设计要求进行安装，保证设备安装牢固、位置准确。

设备的运行和维护：设备运行时，应按照操作说明书操作，不得超负荷运行。定期对设备进行维护和保养，保持设备的正常运行状态。

设备的检测和监控：对于关键设备，应进行定期的检测和监控，确保设备的运行状态和性能符合要求。如空气净化器、送风系统、过滤器等设备。

安全防护措施：设备应配备必要的安全防护措施，如过载保护、漏电保护等，确保设备运行过程中的安全性。

培训和管理：对于设备操作人员，应进行专业的培训，掌握设备的操作技能和安全知识。对设备进行管理和监控，建立设备档案，及时进行维护和更换。

总之，要保证工业洁净室设备的安全性，需要从设备的选型、安装、运行、维护、检测和监控、安全防护措施以及培训和管理等多方面入手，建立完善的设备安全管理体系，确保设备运行的稳定性和安全性。