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文章来源:北京堃润人环科技有限公司 发布时间:2023-10-18 12:00:07
无尘工程是一种能够控制空气中颗粒浓度的技术,它在半导体制造领域中应用广泛。半导体制造过程需要在高度洁净的环境中进行,以保证芯片的质量和性能。以下是无尘工程在半导体制造中的应用:
净化空气:无尘工程通过过滤、静电吸附等技术,将空气中的颗粒物过滤掉,使得空气中的颗粒浓度控制在低于一定标准的水平。这样可以保证在制造过程中空气中的颗粒物对芯片产生的影响降到最低。
净化水:半导体制造过程中需要用到大量的水,而水中的颗粒物对芯片的质量和性能有很大的影响。无尘工程可以通过净水设备和管道等设施,控制水中的颗粒物浓度,保证水的质量符合要求。
净化工作区域:无尘工程通过对工作区域进行封闭、隔离等措施,控制工作区域的颗粒物浓度,防止外部环境对制造过程的干扰。同时,无尘工程还可以通过洁净室内的通风、空调系统,保持工作区域的温度、湿度、气压等参数稳定。
控制人员操作:半导体制造过程中的操作人员也是颗粒物的来源之一,无尘工程通过对人员进行培训、穿戴洁净服、控制操作时间等措施,减少操作人员对制造过程的干扰。
综上所述,无尘工程在半导体制造中的应用是非常重要的,它可以控制制造过程中空气、水、工作区域、操作人员等方面的颗粒浓度,保证芯片的质量和性能。
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